低溫真空探針臺

低溫真空探針臺變溫范圍80~350K。極限真空度優(yōu)于5X10-4pa?？梢栽黾託饷魝鞲懈郊凸怆姕y試性能附件。

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產(chǎn)品詳情

低溫探針臺特征

1.真空腔體：真空度優(yōu)于6×10^-4Pa。降溫后優(yōu)于6×10^-5Pa。留有2個用戶法蘭接口（可接入氣體或者額外的電纜）；

2. 探針控制：標配4個探針臂。調(diào)節(jié)范圍50mm*50mm*30mm，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于10um。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜；

3. 顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡，光學(xué)放大倍率：1.4X~9X（使用1X附加物鏡時），視頻放大倍率約700倍。可選2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字攝像頭，帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦；

4. 變溫樣品臺：50mm直徑。變溫范圍：80K~400K。控溫穩(wěn)定性優(yōu)于±0.01K；

5. 可選配接入光纖，可將一根或幾根電學(xué)探針替換為光纖；

6. 系統(tǒng)直流漏電低于1pA。

7. 產(chǎn)品含進口分子泵機組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀。

低溫真空探針臺產(chǎn)品參數(shù)

型號	LTZ-4H-06
外形	8388001355
系統(tǒng)功率	1KW
電壓	220V三線交流
X-Y軸行程定位精度	±0.01mm
探針調(diào)節(jié)精度	±0.01mm
腔體真空度	1.0*10^-6pa
重量	150kg
測試直徑	6/8/12寸
探針軸行程	110mm
探針XYZ行程	15mm
制冷方式	液氮制冷
X-Y軸額定速度	手動調(diào)節(jié)
腔體直徑	245mm
探針臂數(shù)量	4

溫度下限	77K
探針臂	每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針，樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜
顯微鏡倍率	4X~9X（使用1X附加物鏡時）
地腳	底部塑膠減震地腳
探針頻率	26GHz—100GHz（可選）