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干式液氦超低溫探針臺
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干式液氦超低溫探針臺

干式液氦溫區(qū)探針臺是硅科銳達(dá)專為樣品的非破壞檢測和真空潔凈而設(shè)計(jì)的，測試靈活，廣泛應(yīng)用于直流（DC），射頻（RF）,MEMS, 納米電子，超導(dǎo)性，納米電路的光電特性，量子點(diǎn)和量子線，非破壞性測試等。利用住友F-50連續(xù)流型、變溫制冷系統(tǒng)，低溫可達(dá)6k，同時(shí)配備自動溫度控制器（穩(wěn)定度為0.05 K)，帶有觸控界面和LabView驅(qū)動，工作溫度范圍在6 K to 400 K 。另加防輻射窗口可截?cái)鄻悠犯蟮臒彷椛?，可測量更大的尺寸樣品。

訂購熱線：18502873311
產(chǎn)品詳情

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    干式液氦溫區(qū)探針臺 產(chǎn)品優(yōu)勢

    1.真空腔體：真空度優(yōu)于6×10-4Pa。降溫后優(yōu)于6×10-5Pa。留有2個用戶法蘭接口（KF40可接入氣體或者額外的電纜）；

    2. 探針控制：標(biāo)配6個探針臂。調(diào)節(jié)范圍50mm*50mm*30mm，調(diào)節(jié)精度優(yōu)于10um。每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針。樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜；

    3. 顯微鏡模塊：連續(xù)變倍單筒顯微鏡，光學(xué)放大倍率：1.4X~9X（使用2X附加物鏡時(shí)），視頻放大倍率約700倍?？蛇x2X附加物鏡。分辨率優(yōu)于2um。全高清數(shù)字?jǐn)z像頭，帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機(jī)械調(diào)焦和光學(xué)調(diào)焦；

    4. 變溫樣品臺：50mm直徑。變溫范圍：30K~400K?？販胤€(wěn)定性優(yōu)于±0.01K；

    5. 可選配接入光纖，可將一根或幾根電學(xué)探針替換為光纖；

    6. 系統(tǒng)直流漏電低于1pA；

    7. 產(chǎn)品含進(jìn)口分子泵機(jī)組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀。


    干式液氦溫區(qū)探針臺產(chǎn)品參數(shù)

    型號LTZ-6H-06
    外形838*800*1355
    系統(tǒng)功率2.5KW
    電壓380V三線交流
    X-Y軸行程定位精度±0.01mm
    探針調(diào)節(jié)精度±0.01mm
    腔體真空度1.0*10^-6pa
    重量200kg
    測試直徑6/8/12寸
    探針軸行程110mm
    探針XYZ行程15mm
    制冷方式干式液氦制冷
    X-Y軸額定速度手動調(diào)節(jié)
    腔體直徑245mm
    探針臂數(shù)量6
    冷頭功率1.5KW
    溫度下限3.5K
    探針臂每個探針臂配備一根Triax三同軸低漏電線纜及探針，樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜
    顯微鏡倍率4X~9X（使用1X附加物鏡時(shí)）
    地腳底部塑膠減震地腳
    探針頻率26GHz—100GHz（可選）

     


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