8英寸變溫探針臺(tái)TPS200

描述：

TPS-200變溫型探針臺(tái)針對(duì)功率器件、光電器件、射頻器件晶圓片測(cè)試而設(shè)計(jì)的一體化在片測(cè) 試解決方案?？商峁┲绷鱅V、CV、光電參數(shù)、射頻S參數(shù)的測(cè)量能力。結(jié)合特制的微型密閉腔體，高低溫控制系統(tǒng)，支持晶圓的變溫測(cè)試從-50℃~150℃。探針臺(tái)載片臺(tái)平面采用鋁合金鍍金保證測(cè) 試過(guò)程中的低接觸電阻、超薄晶圓片處理和功率耗散，同時(shí)提供低漏電噪聲的保護(hù)及屏蔽環(huán)境。

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產(chǎn)品詳情

應(yīng)用：
器件（光電器件、IGBT、GaN、SiC等）晶圓片測(cè)試。

功能：
晶圓在片測(cè)試能力: 直流、光電、射頻參數(shù)測(cè)試；
變溫范圍及精度： -50℃~150℃，穩(wěn)定性±1℃；
載片臺(tái)表面：特殊鍍金處理，保證更低的晶圓表面和載片臺(tái)接觸電阻；
安全操作：測(cè)試過(guò)程中互鎖機(jī)構(gòu)保證操作員人身安全；
上下片方式：載片臺(tái)抽屜式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，放片取片只需輕推輕拉即可實(shí)現(xiàn)人工上下片；
信號(hào)連接：信號(hào)轉(zhuǎn)接套件結(jié)合Keysight分析測(cè)試儀器，簡(jiǎn)單快捷實(shí)現(xiàn)測(cè)試系統(tǒng)的搭建。

配置：
TPS200: 探針臺(tái)主機(jī)；
溫控系統(tǒng): PID加熱制冷循環(huán)器(國(guó)產(chǎn)、進(jìn)口可選) ? 顯微鏡：單筒體顯微鏡配置鏡頭；
變溫配置：高低溫循環(huán)系統(tǒng)；
探針：直流探針、光探針、射頻探針；
電磁屏蔽：定制電磁屏蔽箱；
探針座：精密磁吸千分尺探針座，位移解析<1um

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