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TPS200變溫探針臺(tái)
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TPS200變溫探針臺(tái)

TPS200XT 變溫型探針臺(tái)針對(duì)功率器件、光電器件、射頻器件晶圓片測(cè)試而設(shè)計(jì)的一體化在片測(cè) 試解決方案?？商峁┲绷鱅V、CV、光電參數(shù)、射頻S參數(shù)的測(cè)量能力。結(jié)合特制的微型密閉腔體， 高低溫控制系統(tǒng)，支持晶圓的變溫測(cè)試從-50℃~150℃。探針臺(tái)載片臺(tái)平面采用鋁合金鍍金保證測(cè) 試過程中的低接觸電阻、超薄晶圓片處理和功率耗散，同時(shí)提供低漏電噪聲的保護(hù)及屏蔽環(huán)境。

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